三菱電線工業SPE向けに新素材耐ラジカルと長寿命両立

摘要

三菱電線工業(株)(東京都千代田区丸の内3—4—1、☎03—3216—1551)は、半導体製造装置(SPE)向けに新たなシール素材の提案を強化している。耐ラジカル性と低パーティクル化により長寿命を実現した高機能エラストマー「サンエラストEシリーズ」を新たに上巿、半導体製造プロセスの高度化に対応した新素材として、採用拡大に期待を寄せる。