半導体は水質、FPDは大流量に要求: 事業のアジアシフト加速

摘要

超純水は、微粒子、微生物、TOC (全有機体炭素)、イオンなどを除去し、純度100%に限りなく近い水。半導体•FPDでは製造工程における洗淨やエツチング液の希釈水などで使われる。超純水製造システムは、前処理システム、1次純水システム、2次純水システムおよび排水回収システムで構成される。具体的には、前処理システム〜2次純水システムで超純水化し、排水回収システムで洗浄工程から回収されてきた排水を1次純水システムの手前まで戻す。なお、超純水製造装置システム需要の9割が半導体•FPD向けだ。これ以外では製薬、バイオ、臨床検査、発電所などで使われている。