SIIナノテク,FIB・SEM・SPMを主軸に電子デバイス分野の分析ニーズに対応様々な技術の融合によりアプリ開発も

摘要

SIIナノテクは，半導体および電子デバイス分野においてFIB，SEM，SPMの三つの顕微鏡を主軸に，各種分析装置を展開している。また，Carl ZeissのSEMとSIIナノテクのFIBを統合したFIB-SEM複合装置を開発するなど，様々な技術の融合により，さらに複雑化する分析ニーズへ対応している。本稿では，同社ビームテクノロジー総括部BT営業一課長の高森秀之氏，管理部営業企画課長の丸山純夫氏に，同社の分析装置の概要などについて伺った。