リオンの液中パーティクルカウンタ最小0.05μm可測，実効試料流量2ml/分へ向上高清浄度試料での計測信頼性を向上

摘要

半導体や液晶の製造において，パーティクル・金rn属・化学物質といった汚染を要求値まで抑制していrnけるかは重要なプロセスである。気中・液中の微粒rn子計測装置の開発・製造・販売を行っているリオンrnは，液中パーティクルカウンタで，最小可測粒径rn0.05μm，実効試料流量を従来比20倍にまで向上rnさせた純水用の新製品「KL-30A」を開発している。