独JOATのTLS-Dicingシステム幅広い半導体材料の高性能ダイシングMEMSなど微小デバイス加工に対応

摘要

ドイツ・イエナ市に本社を置くJOATは，半導体rnウェーハをはじめ，MEMSなどの微小デバイス加rn工向けに「JENOPTIK-VOTAN Semi」を開発しrnている。本稿では，JOATの国内総代理店として販rn売を担当するリッカーマン（日本）第二営業本部rn第二課 課長代理 林俊夫氏こ，同製品の特徴についrnて伺った。