ST，MEMSモ－ションセンサで躍進MEMS専用ラインを立ち上げ量産体制を確立加速度/ジャイロセンサの新たなアプリケーション

摘要

MEMS技術を用いた製品の中でも，ここ数年で大rn幅な成長を見せているのが加速度センサやジャイロrnセンサといったモーションセンサである。チップのrn小型化や高精度検出が進み，その応用範囲は今後もrn広がるとみられている。本稿では，モーションセンrnサ市場でトップシェアを持つSTのMEMS製品事rn業について，STマイクロエレクトロニクスAPMrnグループMEMS製品部の大内篤氏に話を伺った。