ダイヤモンド半導体デバイスの可能性ウエーハ化にレーザを用いない新技術rnダイヤモンドデバイスのアドバンテージを検証

摘要

優れた物理離を持つダイヤモンドは，半導体材料rnとしての価値に注目されながらも，実用化は技術的rnに困難とされてきた。しかしながら，近年の基礎技rn術の発展とともにその可能性が開かれるようになっrnてきている。本稿では，ダイヤモンド半導体のウェrnーハとパワーデバイスへ向けたデバイス研究動向をrn紹介する。