LEVELING SENSOR IN MULTIPLE CHARGED-PARTICLE BEAM INSPECTION

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LEVELING SENSOR IN MULTIPLE CHARGED-PARTICLE BEAM INSPECTION

机译：多次带电粒子波束检查中的调平传感器

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An improved leveling sensor and method for adjusting a sample height in a charged-particle beam inspection syslcm arc disclosed. An improved leveling sensor comprises a light source configured to project a first pattern onto a sample and a detector configured to capture an image of a projected pattern after the first pattern is projected on the sample. The first pattern can comprise an irregularity to enable a determination of a vertical displacement of the sample.

机译：公开了一种改进的调平传感器和用于调节带电粒子波束检查SYSLCM弧中的样品高度的方法。改进的调平传感器包括被配置为将第一图案投射到样品上的光源和被配置为在将第一图案投射到样品上之后捕获投影图案的图像的检测器。第一图案可包括不规则性以使得确定样品的垂直位移。

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《Research Disclosure》 |2020年第677期|2259-2276|共18页
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