High Accuracy Calibration Tool and Method for Aligning Robot Systems in Metrology Tools

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High Accuracy Calibration Tool and Method for Aligning Robot Systems in Metrology Tools

机译：高精度校准工具和用于对准Metrologology工具的机器人系统的方法

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Exemplary devices and methods are disclosed for improving reliability and efficiency of melrology systems used in lithographic processes. A calibration plute with specifically designed alignment features is used to automate a calibration of the robnl syslcm and reduce alignment errors.

机译：公开了用于提高光刻工艺中使用的Melolology系统的可靠性和效率的示例性装置和方法。具有专门设计的对准功能的校准塑料用于自动校准RobnL Syslcm并减少对准误差。

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《Research Disclosure》 |2020年第676期|1768-1769|共2页
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