A METHOD FOR MODELING MEASUREMENT DATA OVER A SUBSTRATE AREA AND ASSOCIATED APPARATUSES

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机译：一种在基板区域和相关装置上建模测量数据的方法

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Disclosed is a method for modeling measurement data over a substrate area and associated apparatus. The method comprises obtaining measurement data relating to a first layout; modeling a second model based on said first layout; evaluating the second model on a second layout, the second layout being more dense than said first layout; and fitting a first model to this second model according to the second layout.

机译：公开了一种用于在基板区域和相关装置上建模测量数据的方法。该方法包括获取与第一布局有关的测量数据;基于所述第一次布局建模第二种模型;在第二个布局上评估第二模型，第二个布局比所述第一次布局更密集;根据第二布局将第一模型拟合到该第二模型。

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《Research Disclosure》 |2020年第676期|1384-1397|共14页
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