日立ハイテク 微小デバイス特性評価装置 10ナメーノトル以下の解析も対象

摘要

日立ハイテクは微小デバイス特性評価装置「ナノ•プローバ」N6800=写真=を発売した。プローバは半導体液晶など微細な部品の製造工程で、プローブ(接触子)を接触させ、信号を入力する装置(信号を発生させるパターンジチネレータや、測定する計測器も含む)。