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机译:在高温下通过原位摇摆曲线X射线衍射测量来确定嵌入式硅芯片的曲率
Mat Ctr Leoben Forsch GmbH, A-8700 Leoben, Austria;
Mat Ctr Leoben Forsch GmbH, A-8700 Leoben, Austria;
Mat Ctr Leoben Forsch GmbH, A-8700 Leoben, Austria;
Mat Ctr Leoben Forsch GmbH, A-8700 Leoben, Austria;
Univ Leoben, Dept Mat Sci, Jahnstr 12, A-8700 Leoben, Austria;
silicon wafer; curvature; rocking curve; X-ray diffraction;
机译:使用原位曲率和温度相关的X射线衍射测量确定线性热膨胀系数,并将其应用于金属有机气相外延生长的AIGaAs
机译:使用弯曲图像板在(TiO2)(0.18)(SiO2)(0.82)干凝胶上进行原位高温X射线衍射测量
机译:AIInN / GaN分布布拉格反射器的应变轮廓分析,使用原位曲率测量和非原位X射线衍射
机译:InGaAs / GaAsP多量子阱通过原位晶片的曲率测量和异位X射线衍射进行结构评估
机译:材料中缺陷和应变的X射线摇摆曲线和X射线衍射分析
机译:嵌入集成电路封装的硅芯片翘曲的无损X射线衍射测量
机译:使用弯曲图像板在(TiO2)(0.18)(SiO2)(0.82)干凝胶上进行原位高温X射线衍射测量