机译:使用光响应(无机-有机杂化)聚合物的堆叠光波导互连和3D微光学结构的新晶圆级制造方法
Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering Schillerstrasse 1 07745 Jena Germany;
stacked polymer waveguides; inorganic-organic hybrid polymer; UV patterning; photosensitivity; vertical integration; non-linear index change;
机译:具有集成微镜的聚合物光波导的制造和表征,用于三维板级光互连
机译:光波导无机-有机杂化膜的制备
机译:用于二维光学互连的堆叠式聚合物多模波导阵列
机译:使用无机-有机共聚物的新型堆叠光波导制造方法的开发
机译:用于光学互连和集成光学相干断层扫描的光学聚合物波导器件的设计和制造。
机译:使用单模聚合物波导的紧凑型光学互连的扇出布线和光分离技术
机译:在全聚合物基薄箔上低成本制造光波导,互连件和传感结构
机译:用于实现硅混合晶圆级集成的多层铝互连的制作和电气特性