РАЗРАБОТКА КРИСТАЛЛА МАТРИЦЫ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫХ ОСЯЗАТЕЛЬНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ РОБОТОТЕХНИКИ

摘要

Представлена конструкция кремниевого кристалла матрицы тензорезистивных чувствительных элементов давления МИПД-32 для интеллектуальных робототехнических комплексов, обладающих функцией тактильного восприятия. Приведены экспериментальные данные по чувствительности тензопреобразователей.