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机译:具有可调节背压设计的热驱动快速开启微型阀的制造与表征
Department of Mechanical Engineering. National Chung Cheng University, Chiayi 621, Taiwan;
Department of Mechanical Engineering. National Chung Cheng University, Chiayi 621, Taiwan;
microvalve; thermal actuation; microheater; paraffin wax; micromachining;
机译:PWM驱动的可热调谐硅微环谐振器:设计,制造和表征
机译:整体热塑性微型纤维和微泵的设计,制造和实验表征,具有矩形和半椭圆形横截面的微型液体通道
机译:外部驱动的开/关微型阀的设计,制造和特性
机译:聚酰亚胺热隔离结构的热驱动微执行器及其在微阀中的应用
机译:表面张力驱动的微艇和热振荡气泡推进式微型潜艇的设计,制造和测试。
机译:通过热压印光刻技术设计和制造基于环的PDMS软探针用于生物系统中的传感和驱动力。
机译:硅微管谐振器:PWM驱动的热可调硅微管谐振器:设计,制造和表征(激光光子版Rev.13(9)/ 2019)