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【24h】

Software start-up plugs wireless tracking system to end consumables 'chaos'

机译:软件启动将无线跟踪系统插入终端耗材“混乱”中

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摘要

At the micro-let alone the nano-level, the semiconductor world relies on increasingly strict parameters to deal with the many process control issues that arise in the fab. Process engineers would wince at the thought of leaving critical dimension control, the prevention of copper migration, 300-mm challenges, or next-generation lithography solutions to chance. But at the macro level-the world of supplies, consumables, and spare parts-chaos often reigns.
机译:仅在微型级别的纳米级别,半导体世界就依靠越来越严格的参数来处理制造厂中出现的许多过程控制问题。工艺工程师会想到保留关键尺寸控制,防止铜迁移,避免300毫米挑战或下一代光刻解决方案。但是,在宏观层面上(供应,消耗品和备件的世界)经常占据主导地位。

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  • 来源
    《Micro》 |2001年第9期|18-192224|共页
  • 作者

  • 作者单位
  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-18 00:11:07

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