岩手大学理工学部システム創成工学科電気電子通信コース放電プラズマ研究室

摘要

本研究室では，主に大気圧プラズマの基礎や応用の研究や プラズマプロセスに関する計測の研究を行っている。以前は高分子材料の親水化•疎水化，Low-k材料の窒化，ウェハ除 電用イオナイザ，落雷の検出•雷電界の計測，大気圧マイク ロ波プラズマの広面積化などの研究を同学科や学内外の硏究 室と行っていたが，最近は大気圧マイクロギャップ誘電体バ リア放電の自己組織化現象や，誘導結合プラズマのインピー ダンス角晰など，現象論に関するテーマを扱つている。