机译:视网膜,用于标准0.6-μm互补金属氧化物半导体技术中的图案匹配
University of Bourgogne I.U.T. Le Creusot Laboratoire LE2I 12, rue de la Fonderie 71200 Le Creusot, France;
机译:具有标准波长互补金属氧化物半导体技术的具有波长选择金属栅结构的高灵敏度栅/主体束缚金属氧化物半导体场效应晶体管型光电探测器
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机译:结合和匹配光学,电子束和X射线光刻在制造具有0.1和低于0.1微米特征的si互补金属氧化物半导体电路中