機能性薄膜プロセシング

坂本幸弘

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机译：功能性薄膜加工

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マイクロ波ほ電磁波の一つであり，通常，産業用として用いらrnれるものは常用周波数として規定されている．このうち周波数がrn2.45GHzのマイクロ波は電子レンジに用いられているだけでなrnく，化学反応の促進ヤプラズマプロセスにも用いられている.

机译：通常用于工业目的的微波和电磁波之一被定义为公共频率。其中，频率为2.45 GHz的微波不仅用于微波炉，而且还用于等离子体工艺中以促进化学反应。

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来源
《色材協会誌》 |2009年第3期|118-122|共5页
作者
坂本幸弘;
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作者单位

千葉工業大学工学部機械サイエンス学科千葉県習志野市津田沼2-17-1(〒275-0016);

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机译：shishunkiken sodanshi shienshaga shishunka Karin Nin sangjokki made No Ikkan shita Bosei Fusei Ikusei Care program Ojisen Tenkai O suru Tame No Kaihatsu program Kochiku

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