マイクロ波プラズマ場・非プラズマ場を利用した材料プロセッシング

摘要

固体，液体，気体は温度による分子の熱運動と分子間力が異rnなり，「三態」と呼び，反応物質の状態を広別してあらわす。rnさらに，気体原子，分子を適当なエネルギーによって励起するrnと電子が放出されてイオン化し,電離気体であるプラズマが得rnられる。