机译:射频磁控溅射制备镁掺杂改善透明导电Ga掺杂ZnO薄膜的晶体质量
Department of Photonics Engineering, Yuan Ze University, Chung-Li, Taiwan;
Department of Photonics Engineering, Yuan Ze University, Chung-Li, Taiwan;
Department of Photonics Engineering, Yuan Ze University, Chung-Li, Taiwan;
Department of Electronics Engineering, Vanung University, Chung-Li, Taiwan;
机译:射频,直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子传输和晶体学取向特征
机译:射频,直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的高透明导电Al掺杂ZnO多晶线膜的载流子迁移率:晶界效应和晶粒体积中的散射
机译:磁控溅射在聚合物基底上室温沉积柔性透明导电掺杂Ga的ZnO薄膜
机译:射频磁控溅射掺杂浓度对掺杂Ga的ZnO透明导电膜性能的影响
机译:使用不平衡磁控溅射制造适用于薄膜晶体管的掺镓ZNO薄膜。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:非反应性射频磁控溅射沉积Ga掺杂ZnO薄膜的缺陷-导电关系的制备与表征