机译:低温共烧陶瓷中集成温度传感器和加热结构的可变形膜的制造与表征
Department of Electronics Technology, Institute for Micro- and Nanotechnologies, Ilmenau University of Technology, 98693 Ilmenau, Germany;
Department of Electronics Technology, Institute for Micro- and Nanotechnologies, Ilmenau University of Technology, 98693 Ilmenau, Germany;
Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering, 07745 Jena, Germany;
Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and Systems, 01277 Dresden, Germany;
机译:基于低温共烧陶瓷的天线-谐振器集成无线无源温度传感器,适用于恶劣环境
机译:集成式低温共烧陶瓷克拉克型氧传感器
机译:基于集成的低温共射陶瓷的克拉克式氧气传感器
机译:具有集成温度传感器,应变仪和加热结构的可变形LTCC膜的制造与表征
机译:使用低温共烧陶瓷材料开发微电化学多巴胺传感器的研究。
机译:基于低温共烧陶瓷(LTCC)技术的LC无线微流体传感器
机译:基于LTCC(低温共烧陶瓷)技术的传感器的结构和制造