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Stretching silicon's lifespan

机译:延长硅的使用寿命

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摘要

Traditional bulk silicon encounters performance limitations in shrinking CMOS transistor feature size to 65nm. But, through the use of silicon-germanium, strained silicon, and silieon-on-insulator and, ultimately, ger-manium-on-insulator technology, the life of silicon substrates could be stretched as far as the 22nm generation.
机译:传统的体硅在将CMOS晶体管特征尺寸缩小到65nm时遇到性能限制。但是,通过使用硅锗,应变硅和绝缘子上的硅酮,以及最终使用绝缘子上的锗,技术,硅基板的寿命可以延长到22纳米。

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