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Soitech works with Sez on Ge removal and Veeco for MBE and GaN

机译:Soitech与Sez合作进行Ge去除和Veeco用于MBE和GaN

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摘要

The Soitec and SEZ Groups have initiated a joint program to speedup industrialisation of next-generation strained sili-con-on-insulator (sSOI) substrates. The companies will leverage Soitec's focus in engineered substrates and SEZ's strength in single-wafer, wet-processing technology to develop a new wet-etch processes designed to optimise total germanium removal in sSOI manufacturing.
机译:Soitec和SEZ集团已经启动了一项联合计划,以加快下一代应变绝缘体上硅(sSOI)基板的工业化。两家公司将利用Soitec对工程基板的关注以及SEZ在单晶圆湿法处理技术方面的实力来开发新的湿法蚀刻工艺,以优化sSOI制造中的总锗去除量。

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