銅フタロシアニン蒸着膜を用いた有機TFTの作製

摘要

In this paper we report the fabrication and electronic properties of organic thin-film transistor (OTFT) with copper-phthalocyanine evaporated film to drive an electrophoretic display (EPD). This OTFT exhibits 1.61 x 105 on/off ratio and 6.5 V subthreshold slope. We confirmed the display of EPD cell which OTFT was applied to has been controlled changing on/off by application of gate voltage and tried to fabrication of flexible OTFT has FET characteristic on the plastic film.%近年，その登場が期待されている電子ペーパーの表示方式の有力候補である電気泳動ディスプレイ（EPD）の表示制御を可能にする薄膜トランジスタ（TFT）の作製を試みた．フレキシブル性は電子ペーパーが持つ理想の形態であるため，制御素子も同様にフレキシプル性が要求される．そこで本研究では絶縁膜にポリマー材料，半導体層には有機化合物の銅フタロシアニン（CuPc）を用いた．EPDの制御素子として機能する特性の獲得のためにCuPcの膜厚の最適化や絶縁層表面の平滑性の向上を図り，EPDセルの制御を成功させた．また，フレキシブルTFTの試作も行った．