PLC集積型マイクロミラーアレイ作製技術とスタック型インラインモニタへの応用

摘要

光通信技術の発展に伴い、合分波やスイッチング、光レベル調整、モニタリング等の光機能を複合化した集積光部品へのニーズが高まっている。石英系プレーナ光波回路（PLC）は低損失、高信頼性、高い設計自由度といった優れた特徴を有し、複合機能集積のプラットフォームとして有望である。複合機能集積PLCにおいては、フォトダイオード(PD)等の異種材料部品との集積が課題となる。本稿では、PLC集積型垂直光路変換マイクロミラーの作製技術と、これを用いたモニタPD集積技術につき紹介する。%Regarding advanced optical network systems, there is a strong demand for optical modules which integrates multiple optical functions such as multiplexing/demultiplexing, switching and monitoring. Silica-based planar lightwave circuits (PLCs) have clear advantages for use in such integrated modules because they provide low optical loss, high design flexibility, and high reliability. One of the main issues in the development of PLC-based integrated modules is how to integrate the PLC with other devices, such as photodiodes (PDs). In this paper, we report the fabrication of out-of-plane micromirrors in PLCs and integration of PDs using those micromirrors.