机译:通过深蚀刻改善硅波导上布拉格光栅的滤波特性
早稲田大学理工学術院 〒169-8555 東京都新宿区大久保 3-4-11;
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WDM; SOI; シリコングレーティング; フィルタ素子; deep-RIE;
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