知識ベースシステムに基づいたLSIテスト不良原因解析について

摘要

The problem of LSI test yield loss is getting worse due to ever-shrinking feature sizes and ever-growing integration densities. The cause for test yield loss is complex, and its analysis is time-consuming. The tool under development is intended to swiftly identify design, fabrication, and test related causes for test yield loss, by using a unique knowledge base technology. This paper shows the tool helps improve test yield by solving the shortage of test and analysis engineers and making it possible to analyze more yield-loss cases.%半導体集積回路は，大規模化・微細化・低電圧化に伴い，テスト開発も複雑化して，その結果，テスト歩留りが低下している．テスト歩留り低下の原因は，設計や製造起因だけではなく，テスト環境での起因などと複合化している．テスト歩留り向上のためには，その不良原因の解析が必要不可欠であるが，この部分はテスト技術者の経験や知識とノウハウに依存して，効率的な解析が実施されていない．そこで本論文では，熟練テスト技術者が持つ豊富な知識やノウハウを知識ベース化した上，自動推論エンジンによってテスト不良原因の切り分けと歩留り向上のための助言を行う手法を提案する．