紫外線レーザ直接描画による感光性ポリマー光導波路の損失特性

摘要

In this report the fabrications and measurements of the polymer multimode optical waveguides with the hybrid silicone are discussed. Photo-mask and laser direct drawing methods are adopted for the fabrication and straight optical waveguide characteristics by the both methods are measured. The spectra of the hybrid silicone waveguide are measured with white light and compared with the data taken with various optical sources at 850 nm. Cross optical waveguides for optical back- plane are fabricated by the laser direct drawing and the propagation loss and crosstalk are evaluated with the waveguides.%本報告ではナノハイブリッドシリコーンを用いた光配線板用ポリマーマルチモード光導波路の作製及びその評価について述べている。作製にはフォトマスク法とレーザ直接描画法を採用し，各々の直線光導波路を850nmの各種光源を用いて評価した。また材料の透過スペクトルを測定し，直線光導波路との比較を行った。レーザ直接描画法を用いて光配線板用の交差光導波路を作製し，損失特性，クロストークについて検討した。