バイクリスクル基板を用いたRF-SQUIDの製作及び評価

摘要

RF-SQUIDは高い感度と広い帯域幅を持つ。これまではステップエッジ接合を用いてRF-SQUIDの作製が一般的に行われている。本研究ではバイクリスタルを用いたRF-SQUIDを作製し評価した。結晶方位差が30°のSrTiO_3バイクリスタル基板にYBCOをレーザ蒸着してRF-SQUIDを作製し、ゼBCO膜で形成したresonatorと組合せて動作させた。本発表では、RF-SQUIDの作製から特性評価までを総括して報告する。