面実装光受光器との光波結合を目指したシリコン導波路グレーティング結合器

摘要

シリコンフォトニクスは光機能素子の小型化が可能であることや，大王生産性に優れることが期待されるなどの理由により大きな注目を集めている．ところが克服しなければならない課題も存在する．そのーつに光受光器や光ファイバなどの外部素子との光波結合の問題が挙げられる．本報告ではグレーティング結合器を用いた面実装型光受光器とシリコン細線導波路間の偏波依存性の低い光波結合を報告する．製作されたグレーティング結合器では波長1550nmにおいて，0.68dBのTE-TMモード間の結合効率差が得られた．%Silicon photonics is attractive owing to the advantages such as compactness, cost effectiveness and so on. However an optical coupling between silicon optical circuit and external element, including an optical fiber and a photodetector, is a serious problem because of a large optical field mismatch. To overcome this problem, the grating coupler to transfer optical power from a silicon wire waveguide to a surface mounted photodetector with a polarization-insensitive operation has been demonstrated. The fabricated grating coupler suppresses the coupling efficiency difference between TE and TM mode lightwave to less than 0.68 dB at a wavelength of 1550 nm.