Ga_2O_3酸素センサの作製と評価

摘要

Recently, from a point of environmental problems, oxygen gas sensors attract attention of controlling the exhaust gas. The Ga_2O_3 has an oxygen detection characteristic at more than 900℃,so this material attracts much attention as an oxygen sensor at high temperature. The β-Ga_2O_3 films were prepared by the RF magnetron sputtering method. The influence of the two kinds of substrates, namely Si (100) and quartz to compare on the oxygen detection properties was evaluated. It was found that the oxygen gas sensor fabricated on a quartz substrate had superior oxygen detection characteristics than that fabricated on a Si substrate.%近年、環境問題に対する関心の高まりから、排気ガスの制御に酸素ガスセンサが注目されている。酸化ガリウム（Ga_2O_3)は900℃以上で酸素検知特性を持つことから、高温用酸素ガスセンサとして注目されている。そこで本研究ではβ-Ga_2O_3薄膜をRFマグネトロンスパッタリング法で生成した。本研究では、2種類の基板すなわち、Si(100)と石英基板上にβ-Ga_2O_3薄膜を生成し、酸素検知特性への影響について調べた。その結果、石英基板上に作製した酸素ガスセンサが優れた酸素検知特性を持つことが分かつた。