フレキシブルLCD作製技術の開発とその評価に関する研究

摘要

Recently, flexible LCDs using plastic substrates are expected to become next-generation LCDs due to their lightweight and durability, etc. However, realization of high performance flexible LCDs are difficult to make because of weakness of plastic substrates against high process temperatures above 200℃. In this research, we report process technology of high performance flexible LCDs.%現在、次世代の液晶ディスプレイ（LCD）として、従来のガラス基板よりも耐久性・携帯性・生産性が高いプラスチック基板を用いたフレキシブルLCDが期待されている。しかし、プラスチック基板は熱に弱く歪み・変形が生じるのでフレキシブルLCDの高性能化が難しく製品化に至っていない。本研究では、プラスチック基板を用いたフレキシブルLCD作製のための基礎的プロセス技術の確立及び、その評価について検討したので報告する。