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机译:亚熔体激光退火SiGe外延层的应力分析和结漏
Interuniversity Microelectronics Center, Leuven, Belgium;
Embedded SiGe; extended defects; junction leakage current; millisecond laser anneal; strain engineering;
机译:使用p型和n型气相掺杂和亚熔体激光退火技术用于32 nm以下CMOS技术中的延伸结
机译:Si_(1-x)Ge_x虚拟衬底中激光退火诱导的高Ge浓度外延SiGe层
机译:锗和硼低温注入结合亚熔融激光尖峰退火减少p(+)Si扩散层中晶体缺陷的数量
机译:CMOS数字技术中用于S / D结的固相外延再生,闪光和亚熔体激光退火的集成
机译:激光退火:表面晶体结晶,空间变化测量,退火动力学及其他应用
机译:P和Al注入的4H-SiC外延层的激光退火
机译:使用p型和n型气相掺杂和亚熔体激光退火技术用于32 nm以下CMOS技术中的延伸结