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机译:硅上与IC兼容的平面电感
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机译:具有同轴平面电感的CMOS兼容MEMS电声麦克风的感应电压优化
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机译:硅衬底MEMS悬浮电感的电感值计算方法
机译:silicon / pyrex planar microbattery兼容硅工艺的微电源
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