ニコン、熊谷・栃木に半導体用露光装置の新工場棟を建設: 2010年度までに350億円投資/AfF液浸スキャナなど増産

摘要

ニコンは、半導体用露光装置の生産能力を増強する。熊谷製作所（埼玉県熊谷市）と子会 社の栃木ニコンプレシジョン（栃木県大田原市）に新工場棟を建設、2009年12月までに稼動 開始を目指す。露光機生産の全体的な効率向上とともに、ArF（フツ化アルゴン）液浸ス キャナーの増産を図る。2008年度から2010年度までに新工場棟と生産設備に総額350億円 を投資する。