Evatec kooperiert mit Corial

摘要

Evatec, einer der führenden Hersteller von Dünnfilm-beschichtungs- und -?tzanlagen für die optische und die Halbleiterindustrie, wird zukünftig gemeinsam mit der franz?sischen Firma Corial, die spezialisiert auf RIE-, ICP-, HDP- und PECVD-Plasma?tz- und Beschichtungsanlagen ist, Prozesse und Anlagen für den Compound Semiconductor-, Optoelektronik-, LED- und MEMS-Markt entwickeln. Neben einem Technologieportfolio, Verdampfungsanlagen und Sputtersystemen bietet Evatec auch kundenspezifische Beschichtungsanlagen von R&D über Pilot-bis hin zur Massenproduktion an.