Einsatz von Glasloten zur Erzeugung gasdichter Fügestellen beim Aufbau von Drucksensoren

摘要

Aufgrund ihrer Widerstandsf?higkeit gegenüber hohen Temperaturen und aggressiven Medien werden Glaslote heute unter anderem bei Hochtemperaturbrennstoffzellen [1], Plasmadisplays [2], in der Solartechnik [3] sowie beim Packaging von Mikro-Elek-tro-Mechanischen Systemen (MEMS) eingesetzt [4]. Die Gasdichtheit von Glasloten pr?destiniert sie für den Einsatz im Bereich der Vakuumtechnik und der Drucksensorik. So kann beispielsweise bei Absolutdrucksensoren mit Hilfe von Glaslotverbindungen das erforderliche Referenzvolumen erzeugt werden.