机译:用于制造半导体晶圆的缺陷簇识别系统
Monash University, Sunway Campus, Jalan Lagoon Selatan, Selangor, Malaysia;
Monash University, Sunway Campus, Jalan Lagoon Selatan, Selangor, Malaysia;
Monash University, Sunway Campus, Jalan Lagoon Selatan, Selangor, Malaysia;
RMLT International University, 702 Nguyen Van Linn, Ho Chi Minn City, Vietnam;
Freescale Semiconductor, Sungeiway Free Industrial Zone, Selangor, Malaysia;
Semiconductor wafer fabrication; Defect cluster classification; Recognition; Feature extraction;
机译:基于模型聚类和贝叶斯推理的半导体晶圆空间缺陷图案识别
机译:新型缺陷簇索引的多类支持向量机晶片缺陷模式识别
机译:用于识别半导体晶圆上缺陷图案的多步骤ART1算法
机译:基于小波变换半导体制造中的晶片缺陷地图模式识别系统
机译:通过晶片键合技术制造的异质结构集成III-V半导体。
机译:新型非侵入式内部制造的可穿戴系统具有胎动识别的混合算法
机译:制造半导体晶圆的缺陷簇识别系统
机译:2009年9月13日至17日在西弗吉尼亚州威灵举行的半导体缺陷识别,成像和物理国际会议(第13届)