Dreidimensionales Laserschreiben Im Nanometermaßstab

摘要

Größtmögliche Positioniergenauigkeit ist heute in vielen Anwendungsbereichen obligatorisch. Beispiele reichen von der Halbleiterfertigung über die Biotechnologie bis hin zur optischen Messtechnik und Mikroskopie. Nanopositioniersysteme mit piezoelektrischen Aktoren sind in solchen Applikationen meist das Mittel der Wahl. Sie arbeiten mit Wiederholgenauigkeiten im Nano-meterbereich bei Ansprechzeiten < 1 ms, sind vakuumkompatibel und funktionieren in einem weiten Temperaturbereich. Dadurch erschließen sich den präzisen Positioniersystemen immer wieder neue Einsatzbereiche. Ein typisches Beispiel stellen neue Laserlithografiegeräte dar.