シリコン太陽電池作製実験教材とその科学技術教育活動への応用

摘要

今日の高度情報化社会は，様々な半導体デバイス の高速化および高機能化によって実現されている。 そのため，電気電子工学系の学科で，半導体工学は 重要な科目の一つだが，半導体デバイスの作製には 一般に多くの高価な装置•設備と工程が必要なため， 大学•高専において半導体デバイスの作製実験の実 施は容易ではなく，講義による知識の習得だけとな っていることが多いと思われる。講義と合わせて， 実験•実習などで半導体デバイスを作製し，特性を 評価することは，学生が半導体工学を理解する上で 重要であることから，われわれは学生が半導体工学 の理解に役立てられるように，シリコン（Si)太陽 電池を作製する実験教材を開発した。この実験教材 は，実験設備などで制限のある高専でも導入しやす いように，一般的な大気雰囲気の実験室環境下で， 比較的整備しやすい電気炉や蒸着装置などを使って， 必要最低限の簡略化した工程でSi太陽電池を作製 できる。