高灵敏太赫兹阵列检测器的低噪声读出电路

摘要

本文基于Nb₅N₆微测辐射热计(microbolometer)低噪声、高阻抗和高响应率的特性，为1 × 64阵列的Nb₅N₆ microbolometer设计了极低噪声的多通道读出电路。读出电路包含直流偏置电路，一、二级放大电路和多通道选择电路等几个部分，对检测器阻抗变化具有较强的鲁棒性，成功实现对64通道的微弱电压信号的放大和采集。电路具有优异的低噪性能，测量且分析比较了电路噪声对Nb₅N₆ microbolometer的影响。电路单通道输入阻抗达100 kΩ，增益约为60 dB，带宽约为30 kHz，噪声约为8.6 nV/Hz1/2。