Medidas dos índices de refra??o de materiais fotossensíveis utilizando o método de Abelès

摘要

Fotorresina positiva AZ-1518 é um exemplo de material fotossensível amplamente usado em processos litográficos em microeletr?nica e em óptica para fabrica??o de componente de relevo. Esta fotorresina é formada pelo composto fotoativo (PAC) e de uma matriz, que é uma resina espessa denominada novolak. Quando exposta à radia??o ultravioleta, rea??es químicas induzidas modificam as suas propriedades físicas e químicas. Filmes finos homogêneos desses materiais fotossensíveis foram preparados sobre substratos de vidro. Este trabalho tem como objetivo medir o índice de refra??o dos filmes, n?o expostos e expostos à radia??o ultravioleta, utilizando o método Abelès. A partir das medidas das varia??es do índice de refra??o dos filmes fotossensíveis é possível obter a medida da taxa de decaimento do composto fotoativo (PAC) por unidade de intensidade. Medidas desta taxa fornecem indica??es importantes da cinética química microscópica desses materiais fotossensíveis. Os resultados mostram que a precis?o do método é suficiente para medir as varia??es do índice de refra??o desses tipos de materiais fotossensíveis.