裏面照射型撮像素子の製造方法及び裏面照射型撮像素子

摘要

特徴と利用分野本発明は，低ノイズ化裏面照射型撮像素子の製造法にかかわるものである。本発明により，裏面照射型撮像素子のチップ切断面にp-n二重エピ層＊１の界面が露出することで発生するノイズを抑止することができる。