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机译:脉冲偏压对栅极辅助磁控溅射系统沉积Ti6Al4V-N薄膜的结晶度和纳米粗糙度的影响
机译:Cu的作用对由高功率脉冲磁控溅射和脉冲DC磁控溅射组合的混合系统沉积的TIB2膜微观结构和性能
机译:利用直流偏置的射频磁控溅射系统表征沉积在Si和Si {sub} 3N {sub} 4 / Si衬底上的结晶氮化碳膜
机译:低衬底温度下非导电结晶氧化铬膜的脉冲偏置磁控溅射
机译:直流脉冲磁控溅射沉积Ta_2O_5纳米晶薄膜
机译:通过大功率脉冲磁控溅射沉积的银膜的电学和光学性质。
机译:低温下大功率脉冲磁控溅射在铀上沉积的TiN膜
机译:脉冲偏压对栅极辅助磁控溅射沉积TiO:Nb薄膜粗糙度的影响