机译:使用定时扩展面向对象Petri网的晶圆制造系统的性能建模,实时调度和仿真
semiconductor wafer fabrication system (swfs); performance modeling; timed extended object-oriented petri nets (teopns); autonomy coordination-based real-time dispatching mechanism (ac-rdm); SIMULATION;
机译:通过扩展的面向对象Petri网对半导体晶圆制造系统进行建模
机译:IC晶圆制造系统的建模,控制和仿真:广义随机有色定时Petri网方法
机译:使用扩展混合Petri网的半导体晶圆制造系统中的光刻工艺建模
机译:基于扩展的面向对象的Petri网建模,用于半导体晶片制造系统的实时调度模拟平台
机译:使用时间Petri网对实时系统进行建模和实现。
机译:勘误至:MONALISA用于生化系统Petri网模型的随机模拟
机译:用于半导体晶片Fab的自动化间间材料处理系统的面向对象和彩色定时培养型号