机译:基于稳态调度分析的具有晶圆驻留时间约束的双臂集群工具可调度性和最优调度的封闭式解决方案
Automated manufacturing system; Petri nets (PNs); cluster tool; scheduling; semiconductor manufacturing;
机译:基于新型计划的具有晶圆回访和驻留时间约束的双臂集群工具的可调度性和调度分析
机译:具有居住时间约束和活动时间变化的双臂机群工具的可调度性分析和最优调度
机译:调度具有多个晶片类型和居住时间约束的双臂集群工具
机译:基于Petri网的双臂集群工具的调度分析受制于晶圆重访和驻留时间限制
机译:使用时间保护构建稳健的时间表:机器故障不确定性下基于约束的时间表的实证研究。
机译:居住计划受访者的意见调查:相对于典型工作日暴露的周末与工作日采访的价值重点关注申请人日程安排财务和旅游。它会影响安排日程参加面试或对课程进行排名吗?
机译:具有晶圆重新探测的双臂群工具的基于Petri-Net的调度策略