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机译:晶圆级仿真的半导体制造设备的多类流线模型
Department of Industrial and Systems Engineering and the KAIST Institute for the Design of Complex Systems, KAIST, Daejeon, Republic of Korea;
Fab-level simulation; flow line; photolithography cluster tools; semiconductor manufacturing automation;
机译:FAB级模拟中的聚光照相成像仪AX + B设备模型的准确性
机译:用于晶圆级仿真的群集光刻工具模型:从仿射到流水线
机译:SECAM:集成半导体制造设备的监督设备控制应用模型
机译:带有设备前端模块的半导体制造集群工具的建模,仿真和监督控制
机译:半导体制造中的设备和过程建模以及诊断。
机译:基于物理流动应力和冶金模型耦合的Ti-6Al-4V增材制造仿真
机译:关于FaB级模拟中聚类光刻扫描仪aX + B设备模型的适用性