机译:用于ArF线高透射衰减相移掩模空白应用的(TiO2)(ZrO2)(x)-(Al2O3)(1-x)复合薄膜的光学模拟,优化设计和制造
Natl Kaohsiung First Univ Sci & Technol, Inst Electroopt Engn, Kaohsiung 811, Taiwan;
ArF-line; high transmission attenuated phase shift mask; reflection-transmittance method; 193 NM;
机译:ArF光刻中用于高透射率衰减相移掩模的(ZrO2)(x)-(Al2O3)(1-x)复合薄膜
机译:使用无定形Al_2O_3-ZrO_2-SiO_2复合薄膜的ArF线高透射率衰减相移掩模坯料,用于65、45和32 nm技术节点
机译:高透射率嵌入层在透射率控制掩模中的应用仿真及衰减相移掩模的优化设计
机译:(LaNiO3)x(Ta2O5)1-x氧化物薄膜,用于衰减相移掩模坯料
机译:等离子体传感平台设计,仿真,制造和优化,适用于气相和液相生物传感
机译:原子层沉积制备的TiO2-Al2O3薄膜的热光学性质
机译:原子层沉积制备多孔al2O3和TiO2薄膜杂化复合材料及性能研究