机译:快速热退火下硅衬底上氧化硅中的锗扩散和纳米晶体形成
Microelectronics Laboratory, Department of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore, 4 Engineering Drive 3, Singapore 117576;
机译:快速热退火在硅衬底上的厚氧化硅基质中形成锗纳米晶体
机译:快速热退火法合成无定形氧化硅中的锗纳米晶体
机译:快速热退火退火的富硅SiC薄膜中面心立方纳米硅晶体形成的热力学
机译:快速热退火过程中硼从选择性生长的硅锗锗向硅的扩散研究
机译:在快速辅助快速热退火过程中,硼的活化和扩散会改变硅的初始工艺条件。
机译:碳化硅基体中硅纳米晶的快速热退火和结晶机理研究
机译:通过快速热退火预处理的锗掺杂Czochralski硅中热供体的增强形成